Le dispositif selon l'invention comprend : un module de réception, un module d'établissement de canal et un module de chargement.
Au moins le premier module de charge, le second module de charge et le module de traitement peuvent chacun comprendre un dispositif de transfert à double piste.
Le système de traitement de substrat comprend un module d'extrémité avant, un module de charge et un module de traitement.
Un module de charge élevée garantit que la charge reçoit l'énergie via la transmission de charge élevée de l'alimentation électrique si l'état de charge est l'état de charge élevée.
Un module de charge réduite garantit que la charge reçoit l'énergie via la transmission de charge réduite de l'alimentation électrique si l'état de charge est l'état de charge réduite.
Le circuit de pixel comprend un module de régulation de charge (101), un module de charge (102), un module de sélection d'échelle de gris (103), un module de pilotage (104) et un élément émetteur de lumière (105).
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