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dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

TRADUCTION INTEGRALE / FULL TRANSLATION
dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

plasma-enhanced chemical vapo- deposition (PECVD)

électronique / electronics - acta.es

TRADUCTION EN CONTEXTE / TRANSLATION IN CONTEXT
nouveaux précurseurs de silicium pour fabriquer des films à constante diélectrique ultra-faible à propriétés mécaniques élevées par le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

novel silicon precursors to make ultra low-k films with high mechanical properties by plasma enhanced chemical vapor deposition

brevets / patents - wipo.int





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